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-主要包括真空室,

-主要用于带有金属或非金属层,

-卷取设备,

-向真空室输送生产气体用设备,

-尤其用于通过蒸敷,

-微波发生器和微波导体,

-或通过采用等离子预处理待敷箔材或等离子后处理待敷箔材的低压等离子程序或设备,

-涂敷箔材用机械及零件,

-特别是氧化层的由塑料或纸构成的箔材,

-特别是电子束枪和发生器室,

-由这些机械组成的设施,

-电子发射器,

-电子监视和控制仪器,

-电阻蒸发器,

-真空泵,

-阴极喷溅,

-阴极设备和坩锅设备,

0744-电子束蒸发器