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-成像计量工具，即用于检查和表征半导体、集成电路和微电子及其封装的物理特性（包括微凸块阵列）的科学和电子成像仪器,

-用于半导体材料检查的光学检查设备，即半导体晶圆、半导体面板及其封装,

-用于半导体材料检查领域的电子成像平台，即半导体晶圆、半导体面板及其封装,

-用于测试、检查、表征和预测半导体、集成电路和微电子的物理和电气特性的计算机硬件和软件,

0901-可下载的计算机应用软件,

0901-处理信息、数据、声音和图像用中央处理器,

0901-处理半导体晶片用计算机软件,

0901-数据处理设备,

0901-计算机软件（已录制）,

0901-集成电路卡,

0908-声音和图像载体用录制装置,

0910-半导体测试设备,

0910-测试仪器,

0910-测量仪器,

0910-测量器械和仪器,

0910-物理学设备和仪器,

0910-研究性实验室用诊断设备,

0910-精密测量仪器,

0910-非医用超声成像设备,

0911-光学仪器,

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