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-半导体制造设备，即由用于进行预清洗、退火、脱气和物理气相沉积的半导体制造机器组成的系统,

0744-制造显示面板用的蚀刻设备,

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0744-离子注入机,

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0744-集成电路制造机械（电子工业设备）,

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