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0721-电子芯片组装和包装机,

0729-实验室化学反应器,

0742-工业机器人,

0744-包含用于容纳半导体晶片的真空小室的半导体生产机器及其结构部件，用于把半导体晶片搬进及挪出真空小室的机器及其结构部件和配件,

0744-半导体制造机,

0744-半导体晶圆处理的用反应腔，即半导体晶圆热处理的化学反应腔,

0744-半导体晶片处理机，即半导体晶片处理设备及其结构部件和配件,

0744-半导体生产机及其结构部件和配件,

0744-用于处理半导体晶片的反应器，即用于半导体晶片热处理的化学反应器和化学气相沉积反应器,

0744-电子芯片组装和包装机