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0717-用于加工半导体、太阳能电池、纤维和其他基板的机器,

0734-运输用机械（大气或负压或预定气体环境下）,

0744-原子层沉积机器（ALD—原子层沉积）,

0744-在真空（所谓CVD法）或大气或暴露于等离子体状态下通过蒸发作用的半导体表面用表面处理机，以及在真空（所谓CVD法）或大气或暴露于等离子体状态下作用的半导体表面涂布机,

0744-基于等离子体和热辐射的表面处理机,

0744-热处理或制造过程用装置和设备，即涂层炉、真空钎焊机、化学气相沉积（CVD装置）装置,

0744-用于加工半导体、太阳能电池、纤维和其他基板的机器,

0744-用于蚀刻半导体表面的机器,

0751-热处理或制造过程用装置和设备，即涂层炉、真空钎焊机、化学气相沉积（CVD装置）装置