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0901 , 0907 , 0910 , 0912 , 0913 , 0922 0901-半导体制造机器的组件，即电极、校准仪、测量传感器、操作软件、控制器、换能器、信号发送器、信号接收器、同轴电缆、纤维光缆、传感器、管子、电源、电力电缆,
0901-半导体基板制造机器的组件，即电极、校准仪、测量传感器、操作软件、控制器、换能器、信号发送器、信号接收器、同轴电缆、纤维光缆 、传感器、管子、电源、电力电缆,
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0910-半导体制造、半导体衬底制造和半导体晶圆加工用测量装置和仪器,
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