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0901-下述用途的计算机软件：用于监控泵、真空泵、干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵的状态、操作、功能、环境、故障和错误,

0901-下述用途的计算机软件：用于记录和显示与泵、真空泵、干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵的状态、操作、功能、环境、故障和/或错误有关的数据,

0901-下述用途的计算机软件：用于配置泵、真空泵、干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵以及上述商品的控制器,

0901-可编程控制器,

0901-可编程控制器，,

0901-可编程控制设备,

0901-可编程显示器,

0901-可配置的接口,

0901-可配置的用户接口,

0901-实时数据处理装置,

0901-数据处理设备和计算机,

0901-数据采集装置,

0901-数据集成用计算机软件,

0901-显示监视器,

0901-用于与半导体和集成电路制造相关的监控系统状态和真空相关数据供应、排气减少、化学品使用和气体使用的计算机软件,

0901-用于控制真空泵系统和真空泵系统用键盘/显示器的计算机软件,

0901-用于数据采集的计算机硬件和软件,

0901-用于更新下述用途的固件的计算机软件：用于监控泵、真空泵、干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵的状态、操作、功能、环境、故障和错误,

0901-用于生产加工的诊断和支持服务的硬件和软件,

0901-用于设计和配置气体、化学、真空以及排放控制系统的计算机软件,

0901-用于设计和配置气体、化学、真空和排气管理系统（包括进气压力、引擎转速、功耗、油温、排气温度或进气压力）的数据的计算机软件,

0901-用于远程访问和传输数据的计算机硬件,

0901-用于远程访问和控制计算机系统的计算机软件,

0901-用户接口软件,

0901-电子显示监视器,

0901-监控、通信和分析设备,

0901-计算机接口软件,

0901-计算机软件,

0907-数据发射器,

0907-数据处理用智能网关,

0907-监控、通信和分析设备,

0907-遥控发射器,

0907-遥控接收器,

0908-监控、通信和分析设备,

0910-监控、通信和分析设备,

0913-信息显示终端,

0913-充油式真空泵控制器,

0913-功率控制器,

0913-可编程控制器,

0913-可编程控制器，,

0913-可编程控制设备,

0913-可编程显示器,

0913-工业控制器,

0913-干式涡旋真空泵控制器,

0913-干式涡轮分子真空泵控制器,

0913-干式爪型真空泵控制器,

0913-干式真空泵控制器,

0913-干式罗茨/爪型真空泵控制器,

0913-干式罗茨真空泵控制器,

0913-干式螺杆真空泵控制器,

0913-扩散真空泵控制器,

0913-油封真空泵控制器,

0913-泵控制器,

0913-活塞式真空泵控制器,

0913-涡旋真空泵控制器,

0913-涡轮分子真空泵控制器,

0913-爪式真空泵控制器,

0913-用于下列商品的控制装置和控制器的显示屏：泵、真空泵、干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵,

0913-用于下列商品的电气和电子控制器：泵、真空泵、干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵,

0913-用于下列商品的电气控制器、电动控制装置：泵、真空泵、干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵,

0913-用于下列商品的电气控制装置：干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵,

0913-用于泵、真空泵、干式真空泵、螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、爪式真空泵、干式爪型真空泵、罗茨真空泵、干式罗茨真空泵、干式罗茨/爪型真空泵、涡旋式真空泵、干式涡旋真空泵、活塞式真空泵、油封真空泵、充油式真空泵、扩散真空泵、涡轮分子真空泵、干式涡轮分子真空泵的功率控制器,

0913-用于泵和真空泵的工业控制器,

0913-用于泵和真空泵的电气控制装置,

0913-用于远程监测和控制其他电气、电子、机械装置或系统功能和状态的无线控制器,

0913-用户界面显示,

0913-电子功率控制器,

0913-真空泵控制器,

0913-罗茨真空泵控制器,

0913-螺杆式真空泵控制器,

0913-遥控器,

0913-遥控装置