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-一种半导体制造机器和系统，由用于容纳半导体晶片和结构部件的真空室、用于将半导体晶片搬运到真空室中和从真空室运出的机器及其结构部件和配件组成,

-半导体制造机器及其结构件、配件,

-半导体晶片处理机械，即半导体晶片加工设备及其结构件和配件,

-工业化学反应器,

-用于组装和包装电子芯片的机器,

0721-包装机械,

0721-包装用单独工作的机器人,

0729-化学加工用分离机,

0729-化学加工用萃取机,

0729-化学加工用过滤机,

0729-化学工业用电动机械,

0742-工业机器人,

0742-机床,

0742-机床用夹持装置,

0742-机床用模具,

0742-精加工机器,

0744-制造用半导体曝光设备,

0744-半导体制造机器,

0744-半导体制造用光刻机,

0744-半导体制造设备,

0744-半导体晶片加工机,

0744-半导体晶片处理设备,

0744-半导体芯片制造设备,

0750-机械密封件（机器部件）,

0753-化学加工用过滤机