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0717-用于生产和/或处理加工工件的机械和设备，比如半导体产品，太阳能电池，发光元件（比如像发光二极管和有机发光二极管），热电半导体元件,

0744-用于涂层、沉积、等离子处理以及等离子腐蚀的真空处理设备，尤其是薄膜涂层、薄膜沉积和外延附生以及等离子体处理的真空设备,

0744-用于生产和/或处理加工工件的机械和设备，比如半导体产品，太阳能电池，发光元件（比如像发光二极管和有机发光二极管），热电半导体元件,

0749-用于真空处理设备、真空泵和真空泵支架、阀门以及连接器（机械零部件）的附加装置,

0750-工具和组件,

0750-用于真空处理设备、真空泵和真空泵支架、阀门以及连接器（机械零部件）的附加装置,

0754-用于涂层、沉积、等离子处理以及等离子腐蚀的真空处理设备，尤其是薄膜涂层、薄膜沉积和外延附生以及等离子体处理的真空设备,

0754-用于真空处理设备、真空泵和真空泵支架、阀门以及连接器（机械零部件）的附加装置