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0744-各类镀膜机，尤其是用于制造薄层的镀膜机,

0744-各类镀膜源，尤其是蒸汽源、电子束蒸发器、离子束源，均为镀膜机的部件,

0744-在真空状态下材料的溅射、蒸发或镀膜设备,

0744-离子束溅射源、物理气相沉积源、化学汽相淀积源、等离子体增强化学汽相沉积源、阴极溅射源和等离子源，均为镀膜机的部件,

0749-动量传输真空泵,

0749-旋片高真空泵,

0749-真空冷凝泵,

0749-真空吸附泵,

0749-真空泵,

0749-真空泵用真空连接件和真空组件,

0749-真空阀,

0750-分离器,

0750-过滤器