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-光掩模颗粒去除装置与仪器（用于半导体技术）,

-光掩模颗粒去除设备和仪器（用于半导体技术）,

-可下载的计算机应用软件（用于半导体技术）,

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-用于半导体技术中光掩模颗粒去除装置与仪器,

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0910-半导体检测机,

0910-半导体测试设备,

0910-材料检验仪器和机器,

0910-测量装置,

0910-非医用诊断设备,

0911-光学器械和仪器,

0913-传感器,

0913-电动调节装置,

0914-工业遥控操作用电气设备,

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