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0910-下述用途的半导体晶片处理反应器：用于半导体晶片的化学处理和热处理以及通过气相工艺对半导体晶片进行化学清洁,

0910-以及用于上述商品的结构部件和配件,

0910-实验室化学反应器,

0910-机器人（电子控制装置），即实验室机器人,

0910-用于处理半导体晶片的反应器，即用于半导体晶片热处理的化学反应器和化学气相沉积反应器,

0910-用于处理半导体晶片的电反应器,

0913-以及用于上述商品的结构部件和配件,

0913-半导体制造机用电子控制系统,

0913-半导体工业用电子控制器,

0913-机器用电子控制系统装置