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-上述产品的结构和替换部件机器人是电子控制装置，即实验室机器人,

-上述货物的结构件和配件,

-用于处理半导体晶片的反应器，即用于半导体晶片热处理的化学反应器和用于在半导体晶片上沉积薄膜的化学气相沉积反应器,

-用于处理半导体晶片的电反应器,

0901-可编程控制器,

0901-可编程逻辑控制器,

0910-半导体制造机器的电子控制系统,

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0913-半导体行业的电子控制器,

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0913-电动控制设备