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0907-半导体制造机器的部件，即电极、用于校准压力传感器的校准装置、电动执行器、电测量传感器、电气控制器、电换能器和电光换能器性质的换能器、电子信号发射器、电子信号接收器、同轴电缆、纤维光缆、压力和光学传感器、管（指电子管和光电管）、馈线（连接电缆）、电气电源、电源线、非医用激光器、激光二极管,

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0910-测量用装置和仪器，即用于半导体制造、半导体基板制造和半导体晶片加工的压力测量装置和距离测量装置,

0910-研究用脉冲激光沉积装置（非医用）,

0910-科学装置和仪器，即以脉冲激光沉积为特色的超高真空室,

0910-科学设备和仪器，即超-高真空隔间,

0912-半导体制造机器的部件，即电极、用于校准压力传感器的校准装置、电动执行器、电测量传感器、电气控制器、电换能器和电光换能器性质的换能器、电子信号发射器、电子信号接收器、同轴电缆、纤维光缆、压力和光学传感器、管（指电子管和光电管）、馈线（连接电缆）、电气电源、电源线、非医用激光器、激光二极管,

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