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0901-检查和计量设备及装置，即以下用途的设备和装置：感测和/或捕获半导体和电子相关组件（包括半导体晶圆、半导体裸片、封装集成电路、印刷电路板、液晶显示器、电子显示器、以及磁盘存储介质）的图像，并自动检查这些图像以了解信息，例如缺陷、坐标或位置的确定、识别和/或其上某物的存在或缺失,

0901-检查和计量设备及装置，即以下用途的设备和装置：测量半导体和电子相关组件（包括半导体晶圆、半导体裸片、封装集成电路、印刷电路板、液晶显示器、电子显示器、以及磁盘存储介质）中的三维尺寸和特征叠加,

0910-检查和计量设备及装置，即以下用途的设备和装置：感测和/或捕获半导体和电子相关组件（包括半导体晶圆、半导体裸片、封装集成电路、印刷电路板、液晶显示器、电子显示器、以及磁盘存储介质）的图像，并自动检查这些图像以了解信息，例如缺陷、坐标或位置的确定、识别和/或其上某物的存在或缺失,

0910-检查和计量设备及装置，即以下用途的设备和装置：测量半导体和电子相关组件（包括半导体晶圆、半导体裸片、封装集成电路、印刷电路板、液晶显示器、电子显示器、以及磁盘存储介质）中的三维尺寸和特征叠加