【ARIUS】商标详情

-半导体制造机器及其结构件、配件,

-半导体晶片处理反应器，用于半导体晶片的化学处理和热处理，以及通过气相工艺对半导体晶片进行化学清洗，也使用等离子体，即气体放电工业化学反应器，以及结构部件和配件,

-用于处理半导体晶片的机器和机床，即热处理反应器和化学气相沉积反应器，用于半导体晶片热处理的化学反应器,

-用于搬运半导体晶片进出真空室的结构件、机器及其结构件、配件,

-用于组装和包装电子芯片及其结构件和配件的机器和机床,

-由用于容纳半导体晶片及其结构部件和配件的真空室组成的半导体制造机器和系统,

0721-包装机械,

0721-包装用单独工作的机器人,

0729-化学加工用分离机,

0729-化学加工用萃取机,

0729-化学加工用过滤机,

0729-化学工业用电动机械,

0742-工业机器人,

0742-机床,

0742-机床用夹持装置,

0742-机床用模具,

0742-用于搬运半导体晶片的工业机器人,

0742-精加工机器,

0744-制造用半导体曝光设备,

0744-半导体制造机器,

0744-半导体制造用光刻机,

0744-半导体制造设备,

0744-半导体晶片加工机,

0744-半导体晶片处理设备,

0744-半导体芯片制造设备,

0750-机械密封件（机器部件）,

0753-化学加工用过滤机