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-半导体制造机器及其结构件和配件,

-热处理反应器和化学气相沉积反应器，用于半导体晶片热处理的化学反应器,

-由用于容纳半导体晶片及其结构部件和配件的真空室组成的半导体制造机器和系统,

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