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0901-专门与计算机配套的外围设备,

0901-数据处理设备,

0901-计算机和计算机软件，尤其是用于操作调节和定位系统,

0907-精密定位系统，调节和定位系统，尤其是用压电驱动器,

0910-低温恒温器,

0910-测量仪器，尤其是电子和电子光学测量设备,

0910-科学设备和仪器，尤其是用于实验室的科学研究,

0910-精密测量设备,

0910-表面测量设备，即光电子和非接触式操作,

0910-观测仪器,

0910-距离测量设备，尤其是用于机械定位系统的集成路径传感器,

0911-光学设备和仪器，尤其是光学传感器,

0911-原子力显微镜,

0911-扫描电子显微镜,

0911-显微镜，精密显微镜，尤其是用于在低温下,

0911-激光扫描显微镜,

0911-用于显微镜的控制设备，尤其是用于扫描原子力的显微镜，磁力显微镜，激光扫描显微镜以及扫描电子显微镜,

0911-用于显微镜的移动反射镜装置,

0911-磁力显微镜,

0913-干涉式传感器,

0913-用于调节装置的控制和调节单元，微定位平台，特别是用于光波导和光纤,

0913-电控机械式调节装置,

0914-电气和电子控制装置