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0729-热化学反应设备(化学反应腔),

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0744-化学汽相沉积反应器(电子工业设备),

0744-半导体、平板显示器以及太阳能电池制造用镀膜平坦化设备,

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0752-废物处理机(机器),

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0752-清洗设备,

0753-压滤机,

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