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-半导体制造设备,

-工业化学反应器,

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-工业机器人,

-用于制造半导体、及其结构部件和配件的机器,

-用于制造半导体、及其结构部件和配件的机器,

-用于处理半导体晶圆的机器，即半导体晶圆加工设备、及其结构部件和配件,

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-用于电子芯片的组装和包装的机器,

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-由容纳半导体晶圆的真空室及结构部件组成的半导体制造机器和系统，以及用于在真空室内外处理和传输半导体晶圆的机器、及其结构部件和配件,

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0721-包装机械,

0721-包装用单独工作的机器人,

0729-化学加工用分离机,

0729-化学加工用萃取机,

0729-化学加工用过滤机,

0729-化学工业用电动机械,

0742-工业机器人,

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0742-机床,

0742-机床用夹持装置,

0742-机床用模具,

0742-精加工机器,

0744-制造用半导体曝光设备,

0744-半导体制造用光刻机,

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0744-半导体晶片加工机,

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0750-机械密封件（机器部件）,

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