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0901-用于监控、分析、控制和执行洁净室用输送机和运输装置过程的硬件和软件,

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0908-用于监控、分析、控制和执行洁净室用输送机和运输装置过程的硬件和软件,

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0910-用于监控、分析、控制和执行洁净室用输送机和运输装置过程的硬件和软件,

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0913-用于洁净室用输送机和运输装置、储存装置和货物分拣系统、有轨输送机和运输装置、无人驾驶运输输送机和有轨无人驾驶运输输送机的电气和电子组件,

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0913-用于输送机和运输装置、储存装置和货物分拣系统、有轨输送机和运输装置、无人驾驶运输输送机和有轨无人驾驶运输运输机的电气和电子组件