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4209-动力和活性气体产生、真空测量和控制、气体产生和输送、激光和光子产生、输送和测量领域的产品研究和开发,

4209-半导体制造工艺流程领域的产品设计与开发，即用于真空下使用的气体的生成、分析、控制、测量和输送的部件、子系统和系统的设计与开发,

4209-新产品开发的设计和测试，即用于光束产生、衰减和传输、光束轮廓和测量、样品定位和稳定的系统级集成的激光器、光学和光机械产品,

4209-激光器、光学和光机械产品新产品开发的设计和测试，用于激光束产生、衰减和传输、激光束轮廓和测量、样品定位和稳定的系统级集成,

4209-用于半导体制造过程中的产品校准,

4210-动力和活性气体产生、真空测量和控制、气体产生和输送、激光和光子产生、输送和测量领域的产品研究和开发,

4214-新产品开发的设计和测试，即用于光束产生、衰减和传输、光束轮廓和测量、样品定位和稳定的系统级集成的激光器、光学和光机械产品,

4214-激光器、光学和光机械产品新产品开发的设计和测试，用于激光束产生、衰减和传输、激光束轮廓和测量、样品定位和稳定的系统级集成,

4216-半导体制造工艺流程领域的产品设计与开发，即用于真空下使用的气体的生成、分析、控制、测量和输送的部件、子系统和系统的设计与开发,

4216-新产品开发的设计和测试，即用于光束产生、衰减和传输、光束轮廓和测量、样品定位和稳定的系统级集成的激光器、光学和光机械产品,

4216-激光器、光学和光机械产品新产品开发的设计和测试，用于激光束产生、衰减和传输、激光束轮廓和测量、样品定位和稳定的系统级集成