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0901-也包括涂有保护层以减少金属迁移的所有上述制品,

0901-用于生产和加工由高纯度物质组成的材料的部件的部件和组件，即计算机芯片、晶体管、处理器、集成电路和数据处理设备，即用于半导体技术、计算机技术、太阳能技术以及带碳化硅涂层的半导体晶圆载体的上述商品，在每种情况下均为石墨形式或碳（上述不属别类）,

0913-也包括涂有保护层以减少金属迁移的所有上述制品,

0913-用于生产和加工由高纯度物质组成的材料的部件的部件和组件，即计算机芯片、晶体管、处理器、集成电路和数据处理设备，即用于半导体技术、计算机技术、太阳能技术以及带碳化硅涂层的半导体晶圆载体的上述商品，在每种情况下均为石墨形式或碳（上述不属别类）,

0913-由石墨、碳化硅增强碳纤维、碳增强碳、石墨、碳化硅、毡材料制成的基座，用于MOCVD（金属有机气相沉积）工业的碳化硅产品,

0913-由碳化硅涂层材料制成的外延工艺用基座,

0913-由等静压石墨材料制成的外延工艺用基座