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0744-激光步进式光刻机，即用于制造和加工微机电系统（MEM）设备的机器,

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0744-电路板制造和加工用激光步进式光刻机（机器）,

0745-激光步进式光刻机，即用于制造和加工微机电系统（MEM）设备的机器,

0745-电路板制造和加工用激光步进式光刻机（机器）,

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