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0901-上述各种产品的零部件和配件,

0901-用于控制和操作沉积设备的计算机软件,

0907-上述各种产品的零部件和配件,

0907-工业、商业、实验室、诊断和科学用沉积设备和仪器组件，即衬底台，原子发生器，射频原子发生器，纳米粒子加速器，纳米粒子发生器，射频离子发生器，射频离子加速器，热蒸发源，磁控溅射源，电子束蒸发器，用于材料涂层和表面改性的气体热裂解源和带电粒子发生器，样本处理机械装置，进样室，转换臂,

0910-上述各种产品的零部件和配件,

0910-工业、商业、实验室、诊断和科学用沉积设备和仪器组件，即衬底台，原子发生器，射频原子发生器，纳米粒子加速器，纳米粒子发生器，射频离子发生器，射频离子加速器，热蒸发源，磁控溅射源，电子束蒸发器，用于材料涂层和表面改性的气体热裂解源和带电粒子发生器，样本处理机械装置，进样室，转换臂,

0910-工业、商业、实验室、诊断和科学用沉积设备和仪器，即用于材料涂层的热蒸发、溅射、纳米粒子、样品制备、以及台式仪器,

0913-上述各种产品的零部件和配件,

0913-工业、商业、实验室、诊断和科学用沉积设备和仪器组件，即衬底台，原子发生器，射频原子发生器，纳米粒子加速器，纳米粒子发生器，射频离子发生器，射频离子加速器，热蒸发源，磁控溅射源，电子束蒸发器，用于材料涂层和表面改性的气体热裂解源和带电粒子发生器，样本处理机械装置，进样室，转换臂,

0913-工业、商业、实验室、诊断和科学用沉积设备和仪器，即用于材料涂层的热蒸发、溅射、纳米粒子、样品制备、以及台式仪器