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0721-电子半导体芯片组装和封装机器,

0729-用于处理半导体晶片的反应器，即用于半导体晶片热处理的工业化学反应器以及用于化学气相沉积的工业化学反应器,

0734-用于搬运半导体晶片的工业机器人,

0734-由容纳半导体晶片用真空室和结构件以及用于把半导体晶片从真空室移入和移出的机器组成的半导体生产机器和系统，及其结构件和配件,

0742-用于搬运半导体晶片的工业机器人,

0744-半导体制造机,

0744-半导体制造机及其结构件和配件,

0744-半导体晶片处理机，即半导体晶片处理设备及其结构件和配件,

0744-用于处理半导体晶片的反应器，即用于半导体晶片热处理的工业化学反应器以及用于化学气相沉积的工业化学反应器,

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