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0706-用于加工半导体、纤维和其他基板的机器,

0706-用于热处理或制造过程的装置和设备，即涂布机、氧化或退火系统、真空焊接、化学气相沉积机器,

0707-用于热处理或制造过程的装置和设备，即涂布机、氧化或退火系统、真空焊接、化学气相沉积机器,

0717-用于加工太阳能电池的机器,

0729-原子层沉积用机器,

0729-用于热处理或制造过程的装置和设备，即涂布机、氧化或退火系统、真空焊接、化学气相沉积机器,

0730-原子层沉积用机器,

0734-运输用机械（大气或负压或预定气体环境下）,

0742-用于热处理或制造过程的装置和设备，即涂布机、氧化或退火系统、真空焊接、化学气相沉积机器,

0744-基于辐射的快速加热系统，包括机器和基于等离子体的机器及其组合，即用于表面和基板热处理的机器,

0744-用于加工半导体、纤维和其他基板的机器,

0744-用于真空（所谓的化学气相沉积法）或大气或暴露于等离子体下蒸发或涂覆半导体表面的机器,

0744-用于蚀刻半导体表面的机器,

0750-基于辐射的快速加热系统，包括机器和基于等离子体的机器及其组合，即用于表面和基板热处理的机器,

0751-用于热处理或制造过程的装置和设备，即涂布机、氧化或退火系统、真空焊接、化学气相沉积机器