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0716-半导体表面的蚀刻机器,

0717-用于半导体和太阳能电池加工的机器,

0730-用于原子层沉积（ALD）的机器,

0734-输送机器（在大气中或者亚大气压下或者预定义的气体氛围下）,

0744-用于半导体的热加工和真空状态下加工的机器,

0744-用于半导体表面的沉积或者涂层、真空状态下（所谓的CVD工艺）或者在大气中或者在等离子体效果的机器,

0744-用于表面和物体的热加工机器，即，基于辐射的快速加热系统，包括机器和基于等离子体的机器以及上述的组合机器,

0752-废气回收机器