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0901-光学控制器和振荡晶体层厚度测量设备，科学仪器，即用于清洁电子元件表面的芯片载体清洁器，用于预处理被涂抹在真空装置内基质物的或用于涂抹过程的等离子清洁设备,

0901-基质物载体和气体导入系统,

0901-电子调节、控制和监督用具及仪器,

0901-计算机程序，特别是用于调节、控制和监督表面和表面处理的,

0910-光学控制器和振荡晶体层厚度测量设备，科学仪器，即用于清洁电子元件表面的芯片载体清洁器，用于预处理被涂抹在真空装置内基质物的或用于涂抹过程的等离子清洁设备,

0910-即用于薄层技术的配件,

0910-实验室用具及仪器,

0910-测量设备和控制设备，即用于测量薄层处理设施内涂层增长或去除涂层的设备,

0910-用于表面控制和表面处理的电子用具及仪器,

0910-电子调节、控制和监督用具及仪器,

0910-真空测量设备,

0911-光学控制器和振荡晶体层厚度测量设备，科学仪器，即用于清洁电子元件表面的芯片载体清洁器，用于预处理被涂抹在真空装置内基质物的或用于涂抹过程的等离子清洁设备,

0913-光学、电气、磁性、光谱传感器,

0913-即用于薄层技术的配件,

0913-特别是阴极喷涂阴极,

0913-用于测量涂层厚度的石英晶体,

0913-真空镀金属丝,

0913-真空镀金属梭,

0913-等离子源,

0913-阴极喷涂屏蔽板,

0913-阴极喷涂阴极,

0913-阴极喷涂面具,

0913-阴极喷涂靶